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中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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photoelectronsoulPES-2020電子束系統(tǒng)®應(yīng)用 :半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備?

時(shí)間:2023/11/23閱讀:537
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photoelectronsoulPES-2020電子束系統(tǒng)®應(yīng)用 :半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備

【產(chǎn)品特點(diǎn)】

電子束比肖特基亮 10 倍以上

世界數(shù)字選擇性電子束™ (DSeB) 功能

多束兼容,可形成任意形狀的電子束

即使在長(zhǎng)期運(yùn)行期間也能保持高可用性和出色的輸出穩(wěn)定性

[機(jī)身規(guī)格]

加速電壓:可調(diào)至-50kV

光束電流:200 uA 或以上

尺寸:821 mm x 722 mm x 562 mm(高 x 寬 x 深)

重量:140 kg

激光等級(jí):4 級(jí)

安全標(biāo)準(zhǔn):SEMI S2合規(guī)的

電子束工作在15uA電流下,穩(wěn)定性為0.033% (g),正常運(yùn)行時(shí)間為96%(達(dá)到)由于光陰極表面功能的惡化,光陰極的量子效率下降。根據(jù)量子效率(綠線)的惡化,通過控制激光功率(黃線)來保持電子束電流(藍(lán)線)的穩(wěn)定。通過表面再活化,表面功能得到了恢復(fù)。

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