氣氛爐抽真空的幾種方式氣氛爐抽真空的幾種方式各有千秋，選擇何種方式往往取決于具體的工藝需求、設備條件以及成本考量。

一種常見的方式是采用機械泵抽真空。機械泵通過其內部的機械結構，不斷將爐內的氣體抽出，直至達到所需的真空度。這種方式操作簡便，成本相對較低，適用于大多數普通氣氛爐的抽真空需求。然而，機械泵的抽真空速度可能受限于其設計原理和泵的極限真空度，對于真空度的要求可能力不從心。

另一種高效的方式是使用分子泵抽真空。分子泵通過高速旋轉的轉子，將氣體分子撞擊并拋出爐外，其抽真空速度極快，且能達到的真空度。但分子泵的成本較高，且需要配備前級泵以排除大氣壓至低真空范圍的氣體，因此更適合對真空度有要求的場合。

除此之外，擴散泵也是一種常用的抽真空方式。它利用油蒸汽在泵體內形成的高真空環境，通過擴散作用將爐內的氣體分子排出。擴散泵適用于需要中等到高真空度的場合，其成本適中，但需要定期更換泵油以保持其性能。

隨著科技的進步，還有一些新型的抽真空技術正在不斷涌現，如低溫泵、離子泵等。這些新技術在抽真空效率、極限真空度以及穩定性等方面都有顯著的提升，但相應地，其成本和技術難度也較高。

活塞式真空泵抽真空

• 工作原理：利用活塞在氣缸內的往復運動，改變氣缸的容積，從而實現吸氣和排氣過程。當活塞向外運動時，氣缸容積增大，腔內壓力降低，氣體從被抽容器通過吸氣閥進入氣缸；當活塞向內運動時，氣缸容積減小，氣體被壓縮，壓力升高，通過排氣閥排出氣缸，如此循環達到抽真空的目的。

• 特點：結構相對簡單，制造和維護成本較低，適用于對真空度要求不特別高的場合，可獲得的極限真空度一般在 102 - 103Pa 左右。但抽氣速度相對較慢，且在較高真空度下，由于氣體稀薄，抽氣效率會顯著降低。

旋片式真空泵抽真空

• 工作原理：主要由定子、轉子、旋片等部件組成。轉子偏心地安裝在定子腔內，轉子槽內裝有旋片，當轉子旋轉時，旋片在離心力和彈簧力的作用下緊貼定子內壁滑動。轉子每轉一周，完成一次吸氣、壓縮和排氣過程。隨著轉子的連續轉動，不斷地將氣體從被抽容器中抽出并排出泵外，從而使容器內的壓力逐漸降低，達到抽真空的目的。

• 特點：具有體積小、重量輕、抽氣速率快、噪音低等優點，能在較寬的壓力范圍內有較高的抽氣速率，極限真空度一般可達 10?2 - 10?3Pa，適用于對真空度要求較高的氣氛爐。不過，它對被抽氣體中的灰塵和水汽比較敏感，需要配備相應的過濾和干燥裝置。

羅茨真空泵抽真空

• 工作原理：羅茨真空泵的泵腔內有兩個 “8" 字形的轉子，它們相互嚙合但不接觸，由同步齒輪帶動做反向等速旋轉。在旋轉過程中，轉子與泵殼之間形成封閉空間，氣體從進氣口進入這些封閉空間，隨著轉子的轉動，封閉空間內的氣體被輸送到排氣口排出，從而實現抽氣過程。由于羅茨真空泵的抽氣過程主要是靠轉子的旋轉來推動氣體，而不是靠壓縮氣體來排氣，所以它在較低壓力下仍能保持較高的抽氣速率。

• 特點：最大的特點是在高真空區域有很高的抽氣速率，能大大縮短抽真空的時間，通常與旋片式真空泵等前級泵配合使用，組成機組，可獲得 10?3 - 10??Pa 甚至更高的真空度，適用于需要快速獲得高真空度的氣氛爐，但羅茨真空泵不能單獨從大氣壓下開始抽氣，必須有前級泵配合。

擴散泵抽真空

• 工作原理：以低壓、高速運動的油或汞蒸汽流作為工作介質，當被抽氣體分子擴散到蒸汽流中時，會被蒸汽流攜帶到泵的出口，然后由前級泵抽走。在擴散泵內，蒸汽從噴口高速噴出，在泵壁附近形成低壓區域，被抽氣體分子由于壓力差而向低壓區域擴散，并被蒸汽流帶向泵的下部，通過排氣口排出泵外。

• 特點：可以獲得的真空度，通常能達到 10?? - 10??Pa 甚至更低，適用于對真空度要求的氣氛爐，如用于半導體制造、真空鍍膜等領域的氣氛爐。但擴散泵需要有前級泵來維持其前級壓力，且工作時需要加熱油或汞等工作介質，啟動時間較長，對工作環境和操作要求較高。

分子泵抽真空

• 工作原理：利用高速旋轉的轉子與氣體分子之間的碰撞和動量傳遞來抽氣。轉子上有許多傾斜的葉片，當轉子高速旋轉時，氣體分子與葉片發生碰撞，被葉片帶著向排氣口方向運動，從而實現抽氣。分子泵在高真空下，氣體分子的平均自由程較大，分子與葉片的碰撞概率增加，抽氣。

• 特點：抽氣速度快，能在短時間內達到高真空度，極限真空度可達到 10?? - 10??Pa，且對清潔的氣體有很好的抽氣效果，適用于對真空度和清潔度要求的氣氛爐，如在一些科研實驗和精密儀器制造中的氣氛爐。不過，分子泵價格較高，對使用環境和操作要求嚴格，且不能抽除高沸點的蒸汽和含顆粒的氣體。

綜上所述，氣氛爐的抽真空方式多種多樣，選擇時應綜合考慮工藝需求、設備條件以及成本等因素，以達到最佳的抽真空效果。