陶瓷纖維馬弗爐真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。
2．升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱
3．升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。
4．冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。
5．真空爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分均通水冷卻。
6．真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時加熱溫度相同。
7．工件在真空狀態(tài)下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
8．真空爐的保養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
9．國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業(yè)的標準為0.67Pa/h
10．真空爐處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。
11．真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距。