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電感耦合等離子體質譜儀是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。

電感耦合等離子體質譜儀的結構組成與作用：

1、進樣系統：用于將待測樣品引入儀器。通常包括自動進樣器、霧化器、霧化室等部件。自動進樣器可以自動將樣品溶液導入到霧化器中，霧化器則將樣品溶液轉化為氣溶膠形式，以便進入等離子體進行電離。

2、離子源系統：包括等離子體發生器、進樣錐、束縛器和離子透鏡等組件。等離子體發生器產生高溫等離子體，將氣溶膠中的樣品原子或分子電離成離子。進樣錐引導離子流進入束縛器，束縛器通過電場作用束縛離子流，使其呈現出緊湊的軸對稱狀態。離子透鏡則將束縛的離子加速并聚焦，使其快速地進入質量分析系統。

3、質量分析系統：通常由四級桿質量過濾器、離子光學系統、質量掃描器、離子檢測器等組成。四級桿質量過濾器根據離子的質荷比進行分離，離子光學系統則負責將離子傳輸到質量掃描器中進行檢測。離子檢測器將離子信號轉化為電信號，以便后續的數據處理分析。

4、真空系統：為了保持質量分析系統的高靈敏度和穩定性，ICP-MS需要在高真空狀態下工作。真空系統通常由分子泵、機械泵、真空計等組成。

5、數據處理系統：用于接收、處理和分析離子檢測器輸出的信號。通常包括放大器、模數轉換器、數據處理軟件等部件。