潔凈室氮氣柜是一種用于保護光敏材料等對空氣中微小粒子非常敏感的物質的設備。主要通過向工作區供應高純度氮氣，從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。結構由上、下兩部分組成，上部為氮氣發生器，下部為儲存倉和過濾系統。氮氣發生器采用電解技術，將普通空氣中的氧氣和氮氣分離，得到高純度的氮氣，其純度可達99.99%以上。儲存倉內裝有氮氣儲罐，過濾系統則包括粗濾、精濾和活性炭吸附三個部分，以去除殘留的雜質和異味。
潔凈室氮氣柜通過氮氣發生器產生高純度氮氣，并將氮氣通過管道輸送到工作區。工作區內的空氣被排出，使得微粒和濕氣不會進入工作區域，從而保證工作區的環境干凈、無塵、無水汽等。同時，氮氣柜內儲存倉和過濾系統可以去除殘留的雜質和異味，確保供氣的氮氣純度不受影響。主要應用于光學、電子、半導體等行業中對精密加工和材料制備要求高的工作環境。例如，在半導體生產中，可以用于保護光刻膠在接觸式光刻機上的穩定性，防止有害微粒和濕氣對光刻膠的污染。
優點：
1.高純度氮氣：可以提供高純度氮氣，確保工作區的環境干凈、無塵、無水汽等。
2.安全可靠：氮氣柜內部設有安全閥和泄壓裝置，確保氮氣柜的安全運行。
3.節能環保：氮氣發生器采用電解技術，無需化學反應，避免了有害物質的排放，并且具有節能的優點。
4.易于操作：氮氣柜的操作簡單方便，僅需按下開關即可啟動。
潔凈室氮氣柜是一種用于保護對微小粒子非常敏感的物質的設備，其主要原理是通過向工作區供應高純度氮氣，從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。它適用于光學、電子、半導體等行業中對精密加工和材料制備要求高的工作環境，并具有高純度氮氣、安全可靠、節能環保、易于操作等優點。
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