制冷加熱控溫系統: 高低溫一體機制冷加熱循環機高低溫循環泵全封閉小型高低溫循環裝置制冷加熱循環裝置制冷加熱一體機 SUNDI-320/420W/430W SUNDI-10℃~200℃ SUNDI-25℃~200℃ SUNDI-45℃~250℃ SUNDI-50℃~250℃ SUNDI-60℃~250℃ SUNDI-70℃~250℃ SUNDI-80℃~250℃ SUNDI-90℃~250℃ SUNDI-100℃~100℃ SUNDI-25℃~200℃一拖二系統 SUNDI-40℃~200℃一拖二系統 AH系列制冷加熱－適合高放熱量防爆電氣柜

元器件高低溫測試機: 熱流儀/熱流罩循環風控溫裝置半導體?溫控設備 Chiller 數據中心水冷機/冷水機數據中心液冷系統蝕刻機用冷水機射流式高低溫測試機元器件冷水機

低溫制冷循環器: 工業制冷機低溫恒溫反應器制冷機組冰箱制冷控制系統恒溫加熱器恒溫循環器 LX-25℃~30℃ LT-50℃~30℃ LT-65℃~-20℃ LT-80℃~-20℃ LT-105℃~-60℃ LT-120℃~-70℃

低溫冷凍機: 冷凍機流體萃取用低溫冷凍機螺桿式制冷機組制冷機_風冷式制冷機組制冷機密閉低溫冷凍機低溫冷凍機 LC-25℃~5℃ LJ-45℃~-10℃ LN-60℃~-10℃ LD-80℃~-30℃ CDLJ-115℃~-50℃ SLJ-110℃～-150℃

超低溫冷凍箱: 深冷冰箱超低溫冰箱零下80度低溫冰箱低溫冷箱工業超低溫冷凍箱工業冰箱低溫冰機 GX/GY-65℃~60℃ GX/GY-80℃~60℃ GX/GY-100℃~60℃ GY-120℃~20℃ GY-135℃~0℃ GY-150℃~0℃

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半導體高低溫測試冷水機系列產品

時間：2022/11/23閱讀：1124

　　半導體高低溫測試冷水機（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的準確控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。

　　半導體高低溫測試冷水機控溫精度優于±0.3℃，可在-85℃～250℃任意工況切換，具有良好的溫度跟隨性；

　　半導體高低溫測試冷水機具有故障自診斷功能，當設備出現故障時及時報警并顯示在觸摸屏上；

　　半導體高低溫測試冷水機全密閉管道式設計，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫時會自動補充導熱介質；

　　西門子 S7-1200PLC，模糊PID控制算法，具備串級控制算法，導熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設定可控制；

　　半導體高低溫測試冷水機主要應用于半導體行業、醫療制藥行業、LED/LCD器件制造行業、航天航空領域、裝備制造行業等。

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