低溫化學氣相沉積冷卻系統水泵發生故障的話，就需要及時有效的解決，那么一般來說，故障怎么解決好呢？
水泵故障原因分析：
水泵交流接觸器上的過載保護器動作。
水泵電容器燒壞(單相)。
水泵本身問題，如：線圈燒壞、軸承壞死等。
水泵故障的排除方法：
輕按過流保護器中RESET復位鍵即可。
更換電容器。
更換水泵(更換水泵時應注意水泵的轉向)。
注意事項：
低溫化學氣相沉積冷卻系統和工業低溫化學氣相沉積冷卻系統排除以上故障前都應先檢查各電源連接線路是否有斷開、破損、短路等，避免在維修時帶來不必要的麻煩。
當機器出現故障時，應請專業人員進行機器檢查維修，嚴禁在機器處理故障時將機器強行起動。
工業低溫化學氣相沉積冷卻系統起動、運轉
按調度指令打開切換井的進出水閘門，關閉其他各閘門。
水泵啟動前，應向填料函上的接管，引注清水潤滑橡膠軸承，待泵出水后即可關小，有水滴出為宜，檢查泵軸承位的油位，確保各處水、油路暢通。
水泵啟動前檢查各連接部位應無松動，用手轉動聯軸器，看是否靈活，泵內是否有響聲。
低溫化學氣相沉積冷卻系統水泵啟動時，機旁不得站人，啟動后應至少守機五分鐘檢查設備情況，如有不正常的振動和聲音或出水情況有異常應立鄖停機檢查，不允許投入運行后隨即離開機泵。
