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氣體 流量 雙閥 壓力計 壓力控制器 EPC
一、產品概述：
ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個電磁閥，進氣閥將過程氣體引入腔體，保持密閉空間的壓力，壓力過高時，泄壓閥自行打開進行泄壓，快速精準地控制壓力的穩定，同時避免氣體浪費。
ACU20PCD雙閥壓力控制器標配一個壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、快速穩定、可靠的壓力控制，該PC數字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標準的RS485輸出信號，還提供模擬量輸入/出信號，可通過調節設定值就能精準的控制整個工藝過程。同時，可觸控顯示屏使操作更加便捷。
ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應特定的應用領域。常規應用使用標準的直接操控閥，高流速應用使用先導閥，穩壓和泄壓應用雙閥。
二、產品應用：
應用領域：半導體生產、科研實驗、生物醫藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。
氣體 流量 雙閥 壓力計 壓力控制器 EPC
三、產品參數：
| 技術參數 | 精度(包括線性和滯后性) | ±0.5%F.S | ||||
| 壓力控制器 | 1:20 | |||||
| 重復性 | ≤0.1% | |||||
| 傳感器響應時間 | 0.2s | |||||
| 控制穩定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2) | |||||
| 運行溫度 | -10~+70℃ | |||||
| 溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | |||||
| 漏率 | 1×10-9 SCCS He | |||||
| 方位影響度 （90°變化） | ＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器） | |||||
| ＜0.6 KPa（差壓傳感器） | ||||||
| 預熱時間 | 忽略不計 | |||||
| 機械部件 | 材質 | 不銹鋼 | ||||
| 工藝連接 | G3/8" | |||||
| 密封材質 | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 | |||||
| 防護等級（外殼） | IP40 | |||||
| 電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | ||||
| 數字輸出 | RS485/RS232 | |||||
| 電氣連接 | DB9 | |||||
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