大部分的質量流量計，流量控制器的耐壓程度在3Mpa或10Mpa左右，但是在一些應用中需要更高的壓力，例如一些高壓縮氣體，高反應釜。。。經過我們多年的經驗及開發測試，目前，氣體質量流量計、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐壓性能。具體參數如下：
量程范圍：2SCCM～100SLM
測控范圍：控制器閥控范圍50:1（流量計量程比100:1）
準確度： ±0.5%F.S（滿量程）
線性： ±0.25%F.S
重復精度： ±0.2%F.S
響應時間： <0.2s <0.1s
溫度系數： ±0.025%F.S/℃
工作溫度： 0～50℃
預熱時間： 30S可用，5Min達到最佳狀態
工作壓力： 工作壓差：0.1~0.5Mpa(高壓差可定制） 工作壓降：<0.01Mpa
最大耐壓： 20MPa~60Mpa
漏率：1 x 10 Pa m3/S
底座材質：不銹鋼
接頭： φ8，φ10，φ12，卡套或法蘭安裝
密封材質： 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，金屬密封
外殼防護等級： IP40
安裝位置： 水平安裝
電氣連接： DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插
顯示狀態： 帶液晶顯示、不帶液晶顯示
數字量： RS232/485，MODBUS協議，PROFIBUS協議
模擬量： 0～5V、4-20mA、1～5V
供電： 24VDC、±15VDC
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