質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣相色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。
質量流量控制器的運用：
熱質量流量計一般用以監控或操縱與品質有關的全過程，比如在于未反映成份的相對質量的化學變化，比如秘方，原材料均衡明確及其進出口貿易工作交接實際操作。因為這些是制造廠中十分重要的總流量測量，因而氣體流量測量的穩定性和精確性非常重要。
熱質量流量計一般用以監控或操縱與品質相關的進程，比如在于未反映成份的相對質量的化學變化。在檢驗可壓縮性蒸汽和廢氣的氣體流量時，測量不會受到工作壓力和/或溫度轉變的危害。熱質量流量計的功用之一是測量低氣體流速或低氣體流速（每分25英寸下列），遠少于一切其他設備能夠檢驗到的水準。
質量流量控制器是靠流體流過管道時發生震動的科里奧利基本原理來做到精確測量目地，因而質量流量計的安裝情況應該是無應力狀態，蒸汽流量計安裝應與管道在同一中心線上，并且應在質量流量計傳感器周邊做支撐點，不能用傳感器來支撐點管路，這樣可以清除震動，降低偏差。
挑選的安裝地址應避開大變壓器或電動機，由于傳感器與壓力變送器中間銜接的電纜線被例如電機等射出的磁場遮蓋或挨近，就會導致影響，使讀值不準確而造成偏差。也有，安裝時要依據流體不一樣特性而選用不一樣的安裝房屋朝向，也就是要持續保持傳感器管道里流體處在充斥著情況。
攜帶汽泡。用以液體流量測量時，當霧沫狀汽體含量超出1％～5％的容積含量時，質量流量計將停止工作。這種汽泡損耗了用于造成科氏力的總流量管的震動，應將汽體清除在傳感器以前。假如難以達到，則盡量減少汽體含量（盡量提升傳感器內的工作壓力），以確保汽泡被勻稱地分散化為較小的汽泡（保證較高的液態流動速度）。
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