AE LFGS 1250D 射頻電源 300-500KHz 1250W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器。靈活多用途的變頻AE LFGS Series射頻發(fā)生器（1250W，40~500KHz）適用于各種不同的半導(dǎo)體和通用等離子體工藝應(yīng)用，包括濺射、反應(yīng)離子蝕刻、等離子體沉積、聚合反應(yīng)和表面處理。AE LFGS Series 電源設(shè)備采用緊湊的19英寸機架安裝式風(fēng)冷設(shè)計，安裝過程簡單，可節(jié)省寶貴空間。LFGS電源采用半橋式D類放大器設(shè)計，具有市場上較低的反射功率。

AE LFGS 1250D 射頻電源 300-500KHz 1250W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號：AE LFGS 1250D

AC 電源輸入：187~240V，10A，50/60Hz

RF 電源輸出：1250W，300~500kHz

通訊接口：User Port，Diagnostic，Matching，RS-232C，CEX In/Out

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱

AE LFGS 1250D 優(yōu)點

1.支持多種不同應(yīng)用

2.具有市場上較低的發(fā)射功率

3.易于安裝

4.高效利用寶貴的空間

AE LFGS 1250D 特點

1.變頻

2.風(fēng)冷式散熱

3.改進的操作菜單

4.有效前面板

5.脈沖模式（0~10KHz）CEX操作模式2個模擬用戶端口

6.RS-232、以太網(wǎng)和Profibus通信