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原子熒光光譜儀的發展史
1859年克希霍夫研究太陽光譜時開始原子熒光理論的研究。
196年,Winefordner和Κuga首先提出用原子熒光光譜（AFS)作為分析方法的概念。1969年,Holak研究出氫化物氣體分離技術并用于原子吸收光譜法測定砷。
1974年,Tsujiu將原子熒光光譜和氫化物氣體分離技術相結合，提出了氣體分離-非色散原子熒光光譜測定砷的方法，這種聯合技術就是現代常用氫化物發生-原子熒光光譜（HG-AFS)。
1982年郭小偉（西北有色地質研究所）和張錦茂（地礦部物化探研究所）兩個研究小組合作，研制成功了世界上*以溴化物無極放電燈作激發光源的“WYD^2型蒸氣發生-雙道原子熒光光譜儀"。該儀器采用微波激發無極放電燈作為激發光源、自行研制的高溫石英管原子化器、間斷法氫化反應發生器，可同時測定兩個可形成氫化元素及汞原子的原子熒光光譜儀。與此同時，張錦茂、范凡等開展了地球化學樣品中As，Sb，Bi，Hg等兩種元素同時測定分析方法的研究，取得了令人滿意的分析結果。使其成為地礦部開展《20萬區域化探全國掃面計劃》找礦的重要配套儀器及分析方法，隨即將科研成果迅速地轉化為商品化儀器，按地礦部統一部署轉讓給北京地質儀器廠。
1985年開始由北京地質儀器廠和江蘇寶應儀器進樣系統以小蠕動泵為主并投入批量生產。
1995年以郭小偉為首西北有色金屬研究院成立金索坤技術有限公司。
1996年北分瑞利公司與原子熒光光譜專家張錦茂合作，成功研制以蠕動泵為主的原子熒光；隨后北京東西電子研究所也推出以蠕動泵為主的原子熒光。
1998年，加拿大Aurora公司也推出了一款蒸氣發生-原子熒光光譜儀，該儀器的性能基本上接近于我國早期同類型儀器的水平。所以國外原子熒光水平和國內至少相差15年左右。
1999年，北京有色金屬研究院為了進一步提高空心陰極燈的輻射強度，滿足原子熒光分析高靈敏度的需求，在我國早期吳廷照、高英奇研制成功的原子吸收高性能空心陰極燈[13]基礎上結合原子熒光的特點，研制成功了用于原子熒光的“高性能空心陰極燈"。一直沿用至今。