美國Harrick PDC-002 擴展型等離子清洗機

基本參數：

主要特征：
臺式設計，結構緊湊精致
低、中、高三檔可調節功率，可為30W
設備輻射小，安全環保

· 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）

· 重量：20.0kg

· 輸入電源：220 V / 50Hz

· 輸入功率：200 W



· 常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等

· 功率檔：
低檔716V DC、10mA DC、7.16W
中檔720V DC、15mA DC、10.15W
高檔740V DC、40mA DC、29.6W

· 基本配置：
直徑6英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。
為30W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥

· 選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
氣體計量混合器Plasma FloTM

· 周邊設備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

· 選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM

功能及配置簡介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監視。
3、為向艙內注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個標準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測量艙內壓力
6、適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號：PDC-FMG-2

· 選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮關)：1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮開)：23 mTorr
電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs

尺寸: 9"H x 15"W x 5"D

· 選件三：石英等離子清洗艙及托盤