一、原理：
是自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱“濃水”)排掉。
二、反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，最后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。
三、超純水設備應用領域：
半導體行業：半導體芯片、半導體元件材料、半導體晶片切割制造、半導體封裝等。
電子行業：電容器、電腦元件、集成電路、顯像管等。
食品行業：啤酒、乳業、飲用礦泉水、食品等。
電鍍行業：槽液、清洗工件用水等。
實驗室用水：超純物質分析、痕量物質、原子光譜等。
三、維護：
(1)精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。
(2)以自來水為水源的超純水機一般都有兩個出水口，分別是三級水和一級水，經反滲透出來的水是三級水，存放在水箱里，而一級水是即用即取，不存放。三級水沒有通過純化柱，一級水通過了純化柱，一級水的成本高于三級水。
四、步驟：
1、首先要清洗反滲透系統中的膜元件。
2、用反滲透產出的水質配制殺菌液，并用殺菌液沖洗反滲透系統。
3、用殺菌液充滿反滲透系統后，關閉相關閥門使殺菌液保留于系統中，此時應確認系統*充滿。
4、如果系統溫度低于27℃，應每隔一個月用新的殺菌液進行前兩個步驟，如果系統溫度高于27℃，則應每隔半個月更換一次殺菌液。
5、在單級反滲透純水機系統重新投入使用前，用低壓給水沖洗系統一小時，然后再用高壓給水沖洗系統5分鐘，無論低壓沖洗還是高壓沖洗時，系統的產水排放閥均應全部打開。在恢復系統正常操作之前，要檢查并確認產品的水中不含任何殺菌劑。
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