納米壓痕儀又稱納米壓入儀，主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。
新興納米壓痕方法是通過計算機控制載荷連續變化，在線監測壓深量，由于施加的是超低載荷，加上監測傳感器具有優于1nm 的位移分辨率，所以，可以獲得小到納米級的壓深，特別適用于測量薄膜、鍍層、微機電系統中的材料等微小體積材料力學性能可以在納米尺度上測量材料的各種力學性質，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等。
選型指南
1、根據樣品特點、實驗目的等選擇適合的產品?？梢栽谫徺I前拿些樣品測試一下，實際比較各儀器的性能。
2、要看市場上該型號的使用用戶是否多，和生產廠家多要幾家客戶，特別是中國科學院、中國農科院、中國農業大學等高研究水平單位，聯系一下該儀器的使用情況
3、在網上查一下，用該型號儀器是否有技術文章發表，特別是在國外有文章發表代表一個儀器的技術含量
4、可以和廠商的技術人員進行詳細的溝通，看看技術人員有沒有相關方面的專業知識，你很難相信一個沒有專業知識的人能生產出好的產品和提供優質的服。
注意事項
1、樣品表面粗糙度要控制在允許范圍之內，一般要求控制在測試深度的1/20以內；
2、厚度極小的樣品應固定在樣品臺上，以排除測試過程中樣品的移動。
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