納米壓痕儀是精確、靈活、易于使用的納米力學測試儀器。電磁驅動器具有很好的力和位移動態范圍，可以測量納米到毫米級的變形。應用范圍包括：半導體、薄膜及MEM（晶圓應用）、硬膜及DLC薄膜；復合材料，纖維，聚合物，金屬，陶瓷；生物材料與生物學。
?、偌{米壓痕設定，幾種模式有何不同？
納米壓痕可分為靜態位移控制、靜載荷控制和連續剛度控制。
連續剛度只能設定位移，而不能設定載荷，可得到彈性模量、硬度隨位移變化值。系統設定的時間是固定的，一般只有幾秒鐘。
靜態位移控制模式，靜態負載控制模式，可設定至最大位移或最大載荷時，可設定較長時間，一般系統默認每點為15秒，也可設定較長，如30、40秒，但時間越長，收費越高；負載模式可控制保載時間，一般默認為10秒，如有特殊要求可適當增加時間或適當增加；位移模式不可；靜態模式不能得到彈性模量、硬度隨位移變化的變化，只能得到該點在該深度或載荷作用下的彈性模量及硬度值；
?、跒槭裁醇{米壓痕沒有100%卸載？
納米壓痕卸載一般在90%以上，如果用負載控制的測試方法，將卸載率設定為100%，那么就有可能出現熱漂移（卸載后的位移會出現負值）；
?、蹓汉壑睆脚c深度之間的關系？
納米壓痕測試壓痕直徑與壓痕深度之間存在一定的轉換關系：一般用概值估算壓痕直徑=7.5×壓痕深度；
④納米壓痕的壓痕位置無法從圖片中看出？
因為1）由于壓痕位置上的壓痕位置上的材料本身回彈，2）樣品表面顏色較深，不太干凈也會造成壓痕位置不清楚；
?、輭侯^材料？壓頭前端曲率？
金剛石材料，玻纖壓頭；新壓頭一般小于20納米但時間長了肯定會很大，可能是100納米；
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