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淺述sem電子掃描電鏡的各組成部件特點
閱讀：1537 發布時間：2022-7-15
sem電子掃描電鏡是上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用于化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。
sem電子掃描電鏡具有制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等特點，對于導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。從結構上看，主要由七大系統組成，即電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環水系統、電源供給系統。
下面咱們來了解下sem電子掃描電鏡的各組成部件特點：
1、電子光學系統
該系統包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室等，主要用于產生一束能量分布窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。
2、電磁透鏡
熱發射電子需要電磁透鏡來成束，所以在用熱發射電子槍的電鏡上，電磁透鏡不可少。通常會裝配兩組：匯聚透鏡和物鏡，匯聚透鏡僅僅用于匯聚電子束，與成象會焦無關；物鏡負責將電子束的焦點匯聚到樣品表面。掃描線圈的作用是使電子束偏轉，并在樣品表面作有規則的掃動，電子束在樣品上的掃描動作和顯像管上的掃描動作保持嚴格同步，因為它們是由同一掃描發生器控制的。
3、信號探測處理和顯示系統
電子經過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線能譜分析儀等來區分這些信號以獲得所需要的信息。雖然X射線信號不能用于成象，但習慣上，仍然將X射線分析系統劃分到成象系統中。