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產品簡介
工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規避了湍流產生，對工藝室環境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵?。可定制化設計，靈活適應各類安裝空間。
詳細介紹
用于半導體應用的高純半導體工藝氣體過濾器
產品介紹
工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規避了湍流產生，對工藝室環境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設計，靈活適應各類安裝空間。
產品特點
?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環境內制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入，幫助提高產品合格率
?可根據安裝空間進行設計
