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產(chǎn)品簡介
OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒，在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
詳細介紹
用于半導(dǎo)體應(yīng)用在線式氣體專用過濾器
產(chǎn)品介紹
OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒，在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入，幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計
