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[供應]恒歌半導體工藝氣體IGS面板專用過濾器
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  • 恒歌半導體工藝氣體IGS面板專用過濾器
貨物所在地:
廣東深圳市
產地:
深圳
更新時間:
2024-11-13 17:04:46
有效期:
2024年11月13日 -- 2025年5月13日
已獲點擊:
22
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產品簡介

IGS面板氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒,在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

詳細介紹


用于半導體應用IGS面板專用過濾器

產品介紹

IGS面板專用過濾器,用于半導體行業集成氣體輸送與控制系統,兼容C型和W型多種密封規 格,實現0.003μm級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量,適助力設備升 級無憂。全316L不銹鋼構造,堅固耐用,緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的 表面安裝元件,便于系統集成與模塊化設計升級,安裝維護便捷高效。

產品特點

?不銹鋼粉末燒結介質,可快速排氣

?整體316L不銹鋼結構

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環境內制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入,幫助提高產品合格率

?可根據安裝空間進行設計




恒歌半導體工藝氣體IGS面板專用過濾器

















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