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超快激光微納加工中心的技術與應用

閱讀:1044      發布時間:2024-11-26
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超快激光微納加工中心不僅擁有納米級3D加工能力,還配備了雙波長飛秒激光輸出,可加工更廣泛的材料。可對玻璃、光纖、晶體內部和表面進行改性或刻蝕,也可對金屬、合金、陶瓷等硬質材料進行微米級精度的處理,包括打孔、表面結構處理、選擇性激光消融、改性等多種功能。
MJ-Works同樣擁有高精度、超高速度的特點,并且可進行大幅面加工、全自動操控、長時穩定性、簡單直觀的軟件操作以及適配多種材料的特點,適用于微納光學、生物醫學、半導體、光通信等行業的微納加工領域。
主要特點:
雙波長飛秒激光系統,適配多種加工材料,實現增減材加工。
高能飛秒激光脈沖,材料表面減材或內部改性+復雜的3D結構。
光學自穩定,加工面自動平整,自動聚焦和自動跟蹤功能。
光斑調制功能,預留多種光斑模式。
線寬≤100nm,表面粗糙度≤10nm。
可配備自研的超高速加工模塊。
大幅面、大體積加工。
激光能量穩定系統。
高精度恒溫控制系統。
多焦點模式,提高加工效率。
納米級高精度位置識別與對準。
 

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