氟化氫(Hydrogen Fluoride, HF)是一種劇毒、強腐蝕性的無機氣體,廣泛應用于化工、半導體、冶金等行業。由于其高危害性,工作場所的HF濃度必須嚴格監測,以確保人員安全和環境合規。
化學式 | |
分子量 | |
沸點 | |
密度 | |
氣味 | |
溶解性 |
劇毒性:低濃度(1-5 ppm)即可引起眼、鼻、喉刺激,高濃度(>30 ppm)可致死。
強腐蝕性:對皮膚、黏膜、金屬、玻璃等造成嚴重腐蝕。
慢性暴露:長期接觸可導致氟骨癥、牙齒損傷等。
OSHA PEL | ||
NIOSH REL | ||
ACGIH TLV | ||
中國GBZ 2.1 |
電化學傳感器 | |||||
紅外(NDIR) | |||||
半導體傳感器 | |||||
適用場景:巡檢、泄漏排查、應急響應
適用場景:車間連續監測、報警聯動
適用場景:化工反應釜、半導體蝕刻工藝
3. 氟化氫檢測儀選型關鍵因素
量程:一般車間監測選0-10ppm,工業過程可選更高量程。
精度:誤差≤±5% FS(滿量程)。
響應時間:T90 ≤30秒(電化學傳感器)。
防爆認證:如ATEX、IECEx(化工/石化行業)。
數據記錄:支持存儲或無線傳輸(如4-20mA、RS485、Wi-Fi)。
維護需求:電化學傳感器需每3-6個月校準。
半導體制造:晶圓蝕刻工藝HF泄漏監測
化工/石化:氟化反應釜、烷基化裝置安全監測
冶金/玻璃加工:HF酸洗車間環境監測
實驗室:氫氟酸存儲柜泄漏檢測
低濃度(0-10ppm)監測:推薦電化學傳感器。
高濃度/工業過程:選擇NDIR或激光吸收技術。
防爆需求:選擇ATEX認證型號。
建議:根據具體應用場景選擇檢測技術,定期校準和維護傳感器以保證準確性。
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