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筱曉光子提供FQCW266nm連續光固態激光器，具有好的相干效果。這個激光器工作在單縱模，內置集成諧振腔。光束質量好，輸出功率高。
● 266nm
● 連續波
● 單頻率
● 低強度噪聲
● M²<1.3, TEM00
● 高達100mW輸出功率
● 傳導性冷卻
● 設計
激光頭（單位mm）
![](https://'img76.chem17.com/da8b4da7a71755bc63ef5bcad45c3b00d3847960d63bc724af862c0b10c5b94f4b2333ab3c0771b5.png"box-sizing:)
控制單元（單位mm）
![](https://'img76.chem17.com/da8b4da7a71755bc63ef5bcad45c3b00fd3c245894fba58a663d47763fdc7b7a1e613667a8154a59.png"tz")
● 拉曼光譜、
● 晶圓檢測、
● 光譜學
● 要求相干長度的領域
| 項目 | 屬性 | 參數值 |
| 光學參數 | 波長 | 266 ± 1 nm |
| 輸出功率 | 100 ± 3 mW | |
| 輸出功率可調 | 10 – 110 mW | |
| 線寬 | < 300 kHz | |
| 相干長度 | > 1000 m | |
| 光束質量因子 M² | < 1.3, TEM00 | |
| 極化取向和純度 | 垂直， > 100:1 | |
| 光束直徑 | 0.6 ± 0.1 mm | |
| 光束發散角 | < 0.8 mrad | |
| 光束指向穩定性（2） | < 3 µrad/K, < 3 µrad/h | |
| 靜態對齊公差（2） | 橫向±0.25mm，角度±2.5mrad | |
| 功率穩定性（1） | < 1 %rms | |
| 噪聲 (100 kHz – 10 MHz) | < 1 %rms | |
| 電學參數 | 平均功耗（大值） | < 100 W (200 W) |
| 線電壓 | 90 - 250 V AC (50-60 Hz) | |
| 通信接口 | USB / RS232 | |
| 安全特征 | 鑰匙開關，聯鎖 | |
| 附件 | 加溫時間（冷啟動） | < 15 min |
| 操作溫度（激光頭） | 20-35°C不凝結 | |
| 激光頭尺寸 | 91x270x379mm³(H x W x L) | |
| 控制單元尺寸 | 115 x 363 x 325 mm³ (H x W x L) | |
| 激光頭重量 | 14.7 kg | |
| 控制單元重量 | 5.5 kg |
備注：
1、在溫度范圍20-35°C下預熱30分鐘后，溫度變化<1K/h。
2、對于激光束出口，規定了靜態對準公差的位置和角度。
3、出口窗口配備手動窗口過濾器(MWS)，以防外部照片污染。 該激光系統配備了自動水晶篩(ACS)。
（*）受保護：DE10339210B4、EP1344105B1、US7027209B2、DE102010064382B4、US9429814B2
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