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3D輪廓儀的主要應(yīng)用有哪些?

時間:2023/4/25閱讀:1537
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1、測量動態(tài)MEMS設(shè)備

光學輪廓儀是確定MEMS設(shè)備表面特征的一 種非常有用的工具。傳統(tǒng)意義上,光學輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。但是,在測量過程中,所測量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下,如果樣品不穩(wěn)定或者 處于運動狀態(tài)則會引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象。然而,對于MEMS設(shè)備,需要確定該設(shè)備處于運動狀態(tài)時的形貌特征,了解和確定 其在運動狀態(tài)下的功能和特征對研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關(guān)重要,作為質(zhì)量檢驗,只有動態(tài)測量才可以真正模擬MEMS實際運行狀態(tài),從而達到正真的功能檢測。

2、薄膜分析應(yīng)用

3D輪廓儀能夠從樣品表面反射和參照反射的相干光中產(chǎn)出形貌高度數(shù)據(jù)。干涉物鏡在垂直方向上進行掃描,CCD記錄下干涉條紋的演變。計算機通過分析條紋演變過程中的強度變化,就能精確確定樣品形貌的高度。

過去,測試樣品時,只有一個調(diào)制信號被檢查到,但大部分的樣品如半導體、MEMS、平面顯示屏等,這些樣品透射且能在樣品的同一點上產(chǎn)生多個調(diào)制信號,利用傳統(tǒng)的分析方法來處理這些信號有可能導致不正確或不存在的數(shù)據(jù)。

3、測量次納米表面形貌

白光光學輪廓儀可以用來測量表面形貌。隨著機械精度和光學加工能力的提高,超光滑或者次納米表面的加工越來越普及,這些表面的量化已成為過程控制的關(guān)鍵。

光學輪廓儀運用掃描白光干涉技術(shù)配備軟件和zhuan利的FDA分析技術(shù)使得表面形貌的測量能夠達到次納米量級。如果很好的控制測量環(huán)境,選擇合適測量參數(shù)以及可靠的儀器校準,則表面粗糙度測量可以達到皮米量級。

在對超光滑表面進行定量測試時,首先要清楚每一個測量系統(tǒng)均存在其固有本底噪聲。這些噪聲來源電子噪聲、接收器噪聲、參考鏡表面的微小不平整以及測量環(huán)境引起的微小振動等。對大多數(shù)樣品,3D輪廓儀的測量噪聲基本上可以忽略,因為所測量的結(jié)果遠大于本底噪聲。但對于非常光滑的表面,本底噪聲就得加以考慮,對這些樣品的測量就需要清楚知道噪聲的來源并加以很好的控制。

4、機械加工中的應(yīng)用

傳統(tǒng)的機械零件由于受加工設(shè)備的限制,對精度包括平面度,粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級。但隨著技術(shù)發(fā)展,人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進,設(shè)備加工精度的提高帶動檢測技術(shù)的發(fā)展,傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。

光學輪廓儀最初應(yīng)用在光學加工行業(yè)時,其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定,開始引起加工人士的注意并開始應(yīng)用。光學輪廓儀已在汽車發(fā)動機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標定等方面有大量的應(yīng)用。寧波森泉科技分析軟件中的一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。

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