儀器儀表的保養步驟有：
一、儀器儀表外表擦拭步驟：
1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油污等，小心注意其儀器外表勿受傷。
2.再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面。
二、儀器儀表鏡面擦拭步驟：
1.先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面。
2.再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發后，再裝回去。
3.鏡面擦拭可區分成校正玻璃片及鏡頭內透鏡組，由于灰塵粒子會造成成像的黑點，鏡面擦拭至為重要，裝置后需重新借著影像觀察擦拭結果。
三、儀器儀表花崗巖表面擦拭步驟：氮氣發生器
1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭花崗巖表面，以擦拭其灰塵或測量后機件遺留的油污等。
2.再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭花崗巖外表面，酒精具揮發性會自然蒸發。
3.必要時，可使用花崗巖專用保養油再擦拭。
四、儀器傳動部分：分干磨擦部分及潤滑部分，干磨擦部分又有氣浮軸承及無牙絲桿傳動機構之區分。
干磨擦部分保養步驟：
1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。
2.也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。
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