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1 一般透鏡和棱鏡的清洗
透鏡和棱鏡表面，通常均鍍有氟化鎂增透膜層。清洗時，不要用溶劑液浸泡，也不需將透鏡或棱鏡從鑲框或鏡架中拆出。只要用棉簽蘸上少許清洗液，輕輕地在鏡面上擦拭幾遍，邊擦邊轉動棉球。每擦過一次就要調換竹簽上的棉花，氮氣吹掃儀以免臟棉花二次污染鏡面。也不要在鏡面上往返擦拭。要從零件中心向邊緣作圓周運動進行擦拭。要注意竹簽的硬面不要刮破膜層，也要注意防止清洗液滲入鑲框，以致無法擦拭或日久生霉。因此，擦拭時清洗液宜少不宜多。在清洗膠合透鏡和鍍銀棱鏡一類的光學零件時，要小心，氮氣吹掃儀千萬勿使清洗液滲入到膠合面和鍍銀面上。否則，日久將產生脫膠和脫銀現象。
對于光學零件上的霉斑，初生時情況稍輕的，可在清潔過程中擦拭干凈；霉污稍重的，可先用擦鏡頭藥水擦拭，或用3204溶液（去霉防霧劑）清洗。氮氣吹掃儀經擦拭后如仍有斑痕，可用水調碳酸鈣粉慢慢地拋擦。拋擦透鏡時要從鏡面中心向邊緣作圓周運動，不可任意擦拭，以免破壞球面曲率。然后放在自來水下邊沖邊擦，將使成象模糊，視場亮度很差。
2讀數窗、測微尺和十字絲分劃板等光學零件的清洗
這些光學零件的特點是都有分劃刻線，在清潔過程中千萬不能將它擦掉。現代的儀器，多數設計考慮較為周到，在這些具有劃分刻線的光學零件上，大都膠有一層保護玻璃。清潔時只要注意防止清洗液浸入膠合面即可。
采用真空鍍咯的讀數窗及帶分劃的光學零件，即使沒有保護玻璃的也可用常規的清洗方法。一般情況下，棉簽蘸上少量的清洗液輕輕地擦拭，鍍咯層是不會被擦拭掉的。但有些儀器刻劃的情況不同；有的是直接刻劃上色的；有的是照相制版的；有的也膠上了一層保護玻璃。在清潔這些儀器時要分別采取不同方法。
對于直接刻劃上色的光學零件，防止將刻劃的顏色擦掉。清潔的方法是用棉簽蘸以少量清洗液，并將其壓干些，然后沿刻劃的垂直方向輕輕地擦拭。千萬不要過分用力壓緊刻劃線，以免將顏色擦掉。
氮氣吹掃儀對于照相制版的其感光層怕水，只能用鹿皮、棉花輕輕地干擦，或在光學零件略微呵一些霧氣，輕輕揩擦。感光層一旦被擦掉，儀器即行報廢。因此，近年來生產的這燈儀器，大都膠有一層保護玻璃。這時，也就不存在清潔的困難了。
當分不表底層是何種結構時，氮氣吹掃儀好先在無分劃線的邊部輕輕拭擦，以免將分劃線一下全擦掉。在一般情況下，銘層和感光層是容易區別的。只要從反射光方向觀察，分劃線（或讀數窗底面）是白的，像鏡面那樣光亮的就是鍍銘的；而感光層一般是呈黑色的工作狀態。
3儀器放置要整齊，不得倒置。