化學真空系統方法是在封閉的真空系統中進行化學制備的方法。化學真空系統是由玻璃管或金屬管路把反應器與機械泵和油擴散泵(或汞擴散泵)串聯而構成。泵和反應器之間連接一個大冷阱，以防止反應器中的反應物進入油擴散泵或油擴散泵中的油蒸氣進入反應器。冷阱由盛有液氮的杜瓦瓶組成，保持77K的低溫。反應器與真空系統的一段相連接，真空系統的另一段由一系列U形冷阱組成，能將不同揮發性的產物分別冷凝分離。
化學真空系統廣泛應用于化學、生物和制藥實驗室的排氣、蒸發或者氣體抽取等過程。主要用于和旋轉蒸發儀、真空濃縮儀或真空干燥箱等連用，非常適用于高沸點溶劑。
化學真空系統的性能特點：
化學耐腐蝕性和蒸汽耐受性
在較高真空度下仍具有非常好的性能
使用氣鎮仍能達到很好的極限真空
排氣安靜，振動極低
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