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退火爐的結構
閱讀：930 發布時間：2021-5-10
退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。
結構
退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，臺車用槽鋼作主梁，底板及前后端板采用中板。
退火爐傳動部分：臺車傳動采用電動機、減速機通過鏈條帶動前端一組主動輪傳動。爐門傳動是采用蝸輪減速機和電動機組合電動升降。
密封：臺車與爐體密封采用迷宮式結構，并在臺車兩側有自動沙封刀密封裝置。爐門密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動機構密封該爐爐體部分采用優質耐火磚結構，保證爐膛密封性。在臺車耐壓部分采用高鋁磚砌筑，下部均添保溫磚保溫。
退火爐燃燒系統：在油爐兩側各安裝數只燒咀，熱流在爐內往復循環，確保爐溫均勻性。根據需要可選定自動型和半自動型。
排煙預熱裝置：在爐后上端安裝了排煙預熱裝置，爐內的煙氣通過預熱器時，由風機送入冷風進行預熱，再由管路送至燒咀進行助燃，并在出口安裝一只手動碟閥，該閥可調節爐內壓力。廣泛應用于化工、石油、食品、冶金、機械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫藥、集中供熱等工業部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發等工藝過程中。