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產品簡介
900°C小型RTP爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4“石英管和真空法蘭，它是專為半導體和太陽能電池基片（頂值為3“）的退火而設計，采用10KW紅外燈管加熱快速升溫的頂值速度為50°C/秒，30段溫度控制，精度為+/-1°C，計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線。
詳細介紹
| 設備名稱 | 900°C小型RTP爐-OTF-1200X-4-RTP |
| 主要特點 | 快速升溫，*達50°C/s；快速降溫，*117°C/min 超大管徑φ110m *溫度可達900°C 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作 開門斷電
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| 基本參數 | **溫度：*900°C（<10min）；800°C（<30min）；600°C（長期） **升溫速率：室溫800°C：50°C/s，800°C-900°C：10°C/s **降溫速率：60°C/min（<200 mtoorr）,117°C/min（在一個大氣壓下） *法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 *最慢降溫速率10°C/min *加熱區長度：190mm *控溫精度：+/-1°C（歐陸表型溫控儀表可達0.1°C） *加熱元件：8根紅外燈管（每根1.5KW，圖1、2、3） *熱電偶：可插入式的鎧裝熱電偶，進口K型熱偶，緊貼在放樣品的ALn片下 **功率：9KW（>60A保險） *設備電源：AC220V/50HZ 單相 *循環水流量：0.5 m3/h *標配流量計量程范圍：16-160 ml/min
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| 尺寸 | *760(L)*330(W)*530(H)mm(法蘭關閉) *1200（L）*330（W）*530（H）mm（法蘭打開） *爐膛尺寸：φ180*190
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| 重量 | 70KG |
| 認證 | 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
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| 保修 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
| 國家 | 名稱：一種快速高溫退火爐 編號：ZL-2011-2-0077168.4 尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究 |
760(L)*330(W)*530(H)mm(法蘭關閉) |