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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
型號(hào)∶OTF-1200X-IV-HPCVD產(chǎn)品概述∶?OTF-1200X- IⅣV-HPCVD是一款坩堝可在爐管內(nèi)移動(dòng)（靠步進(jìn)電機(jī)控制）的4溫區(qū)管式爐，所有電器元件都通過了UL/ MET/ CSA認(rèn)證。爐管外徑為50mm，設(shè)備*工作溫度為1200℃，每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為100mmL，每個(gè)溫區(qū)由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制，都可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃。
詳細(xì)介紹
| 設(shè)備名稱 | 1200℃ 4溫區(qū)坩堝可移動(dòng)型管式爐-OTF-1200X-IV-HPCVD |
| 主要特點(diǎn) | · 爐子配備步進(jìn)電機(jī)，通過觸摸屏數(shù)字控制器使樣品臺(tái)或坩堝在爐管內(nèi)移動(dòng)。· *溫度可達(dá)1200℃。 ·雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 |
| 基本參數(shù) | ·*溫度∶ 1200℃（≤30nin）工作溫度∶ 1100℃ ·推薦升溫速率∶≤10℃/min ·加熱區(qū)長(zhǎng)度∶ 總長(zhǎng)度400mm，四個(gè)加熱區(qū)，每個(gè)加熱區(qū)長(zhǎng)度100mm · 加熱元件∶摻鉬鐵鉻鋁合金 ·電壓∶220v · *功率為∶3.5KV ·通過機(jī)械泵可達(dá)到75mTorr |
| 真空密封 | ·高純石英管50mmy外徑x44nm內(nèi)徑x 680mm長(zhǎng) ·采用KF結(jié)構(gòu)密封法蘭，硅膠密封圈密封 ·法蘭上安裝有一個(gè)機(jī)械壓力表 ·右端法蘭與一個(gè)真空不銹鋼波紋管連接 |
| PLC控制 | ·一個(gè)直徑為1/4"的鎧裝熱電偶（k型），通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動(dòng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的實(shí)際溫度。 ·通過步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)爐管內(nèi)的坩堝（樣品臺(tái)），*行程為400mm（1#溫區(qū)至4#溫區(qū)距離）。·通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標(biāo)位置，坩堝移動(dòng)速度為1-180mm/min ·在熱電偶上安裝了一個(gè)微型石英坩堝舟。
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| 溫控系統(tǒng) | *采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 *溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) *儀表控溫精度：+/-1°C *熱電偶型號(hào)：K型 |
