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產品簡介
產品概述∶?TCVD-OTF-1200X-S2-5OSL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為中50×1600mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器*溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在雙向導柱滑軌上滑動，實現對原材料的蒸發/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速升降溫的需求。同時可選配電動滑軌、質量流量計（MFC）控制的供氣系統和等離子射頻電源來搭建TCVD系統。
詳細介紹
| 產品名稱 | 1200°C小型雙爐體滑動管式爐 |
| 主要特點 | 包含兩個爐體。 爐子的底部安裝有一對滑軌，可手動使爐子從爐管的一側滑動到另一側，以實現快速加熱和快速冷卻。 *溫度可達1200℃。 · 雙層殼體結構，并帶有風冷系統，可有效降低殼體表面溫度。 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 開門斷電，提高實驗安全性。 |
| 基本參數 | *溫度∶ 1200℃（≤30nin） 工作溫度∶ 1000℃ 推薦升溫速率∶≤10℃/min 加熱元件∶摻鉬鐵鉻鋁合金 電壓∶220v 額定功率∶ 3KW |
| 爐管及滑軌 | 高純石英管50mm外徑x 1500mm長 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 滑軌長度∶1600毫米 |
| 真空法蘭 | 配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝。 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應氣體。 一個機械壓力表安裝在左端法蘭上，用于監控管道壓力。 法蘭端提供多種接頭可選。
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| 溫控系統 | 采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 儀表控溫精度∶ +/- 1°c 熱電偶型號∶k型 |
| 認證 | 所有電氣部件均為UL認證，并可通過TV、CsA認證 CE certified |
| 質保 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
