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直流高壓發生器在使用過程中可能會出現一些故障，以下是一些常見的故障及其處理方法：
打開電源開關后，電源指示燈和綠燈都不亮。這可能是由于電源保險絲、電源線或電源開關出現問題。解決方案是檢查這些部分，如果發現其中任何一個損壞，應及時更換。
如果打開電源開關后，電源指示綠燈閃爍并同時伴有蜂鳴聲，可能是因為沒有接地、接地不可靠或使用的發電機電源或者是經過開關柜隔離變壓器的電源。解決方案是進行接地操作，檢查接地線是否可靠，如果需要，可以重新接地；如果電源經過隔離變或現場用自發電源，則必須人為將電源有一點與大地聯接。
有時可能會遇到打開直流高壓發生器的電源開關后，電源指示綠燈亮，但高壓指示紅燈不亮的情況（即高壓合不上）。這可能是由于調壓電位器不在零位、過壓整定開關設定為零或高壓指示按鈕燈可能損壞造成的。解決方案是將調壓電位器旋回到零位，確保過壓整定開關設定正確，并檢查高壓指示按鈕燈是否正常工作。
另一常見故障是打開電源開關時，控制箱上的數顯表無顯示。這通常是因為電源連線或保險管出現問題。可以通過檢查電源連線及所有保險管來解決這個問題，如果發現保險管損壞，應按照保險管座旁標注的安培數更換新的保險管。
