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真空兼容性:1x10。 -6 馬巴

鋁合金結構獲得報價

#單獨銷售的控制器    [ 閱讀更多信息 ]

規格

繪圖

參數線性階段旋轉階段

真空相容性≤1 x 10 -6 馬巴

建筑(材料)鋁合金

結束不陽極氧化(理想的真空)

驅動器步進電機

絕對定位精度2.5m.25%0.02度

可重復性± 0.20 mm± 0.1 degree

直線精度± 25 μm..........

搖擺0.02毫米0.02毫米

旅行(X,Y & Z) :  50 mm360度

決心機箱2.5米(半步)0.01度(半步)

開車地底鉛釘1毫米精密蝸輪和軸總成

最大速度線性級(XY級):4毫米/秒(4RPS)4RPS

限制開關兩端的光限開關光學家用感應極限開關

付費負載2千克

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付費負載2千克