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一、概述

SR-i 在線膜厚監測裝備采用行業*先微納米薄膜光學測量創新技術，快速、連續監測工業產線上各式薄膜的膜厚以及光學常數，快速準確測量薄膜厚度、光學常數等信息。

二、產品特點

反射膜厚測頭與電控系統結構示意圖

SR-i在線膜厚監測系統支持編輯測量路徑，連續監測并導出數據圖表

可在線模塊化定制，結構緊湊、布點靈活、集成各式在線設備中

三、產品應用

SR-i在線膜厚監測系統廣泛應用于工業產線級片對片，卷對卷薄膜膜厚連續在線自動化監測。

SR-i 膜厚測量頭技術規格：