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一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發的原位薄膜在線監測中的定制化開發，快速實現光學薄膜原位表征分析。

二、測試案例

成膜工藝監控

膜厚表征

三、產品應用

光譜橢偏儀廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積，ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監測并實時反饋測量物性數據。

四、技術參數

頤光科技注冊于武漢東湖國家自主創新示范區，立足光谷，面向，為用戶提供光學散射測量儀等系列產品，并提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。產品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學、電化學、光學鍍膜和保護膜、減反膜、光刻材料等眾多領域。