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一、產品特點

■  高精度橢偏測量解決方案；

■  超高精度、快速無損測量；

■  支持多角度、微光斑、可視化調平系統功能模塊靈活定制；

■  豐富的數據庫和幾何結構模型庫，保證強大數據分析能力。

■ 采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)，可支持擴展紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

■  高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置，實現Psi/Delta光譜數據高速采集；

■ 支持系列配置靈活，可根據不同應用場景支持多功能模塊化定制；

■ 數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；

二、技術規格