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秋山科技（東莞）有限公司 |
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日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度測量系統(tǒng)F10-RT
集成測量單元和測量臺的緊湊型臺式測量系統(tǒng)
光譜范圍廣，可選擇多種光源
反射率和透射率同時測量，膜厚、折射率和可用分析能力消光系數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)時間記錄的相機(jī)測量位置
放個樣品就行了。無需調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)，設(shè)置非常簡單
| 平板 | 聚酰亞胺、ITO、抗蝕劑、氧化膜、抗反射涂層、PET和玻璃基板上的各種光學(xué)膜 |
|---|---|
| 光學(xué)鍍膜 | 玻璃、眼鏡、鏡片等的硬質(zhì)涂層。 |
| 薄膜太陽能電池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
| 模型 | F10-RT -紫外線 | F10-RT | F10-RT -近紅外 | F10-RT -近紅外 | F10-RT -UVX |
|---|---|---|---|---|---|
測量波長 范圍 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm | 380 – 1050nm | 380 – 1050nm |
膜厚測量 范圍 | 1nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 150μm | 15nm – 150μm | 1nm – 150μm |
準(zhǔn)確性 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ||
| 1納米 | 2納米 | 3納米 | 2納米 | 1納米 | |
光源 | 氘· 鹵素 | 鹵素 | 氘· 鹵素 | ||
平板中使用的透明電極ITO的膜厚和折射率的測定例
同時測定反射率和透射率。薄膜厚度分析 FIL Measure 軟件可即時分析薄膜厚度、折射率等。
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