日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

產品特點

• 實現高測量重復性（± 0.01 μm 或更小，取決于對象和測量條件）

• 不易受溫度變化的影響

• 可以生產用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。

• 反射型允許從薄膜的一側進行測量

• 僅可測量透明涂膜層（取決于測量條件）

• 模型	飛行時間
  測量方法	非接觸式/光譜干涉式
  測量對象	電子和光學用透明平滑膜、多層膜
  測量原理	光譜干擾型

  日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

• 產品規格

  測量厚度	1～50μm（薄材料）、10～150μm（厚材料）
  測量長度	50-5000 毫米
  測量間距	1 毫米 ~
  最小顯示值	0.001微米
  電源電壓	AC100 V 50/60 Hz
  工作溫度限制	5～45℃（測量時溫度變化1℃以內）
  濕度	35-80%（無冷凝）
  測量區域	φ0.6 毫米
  測量間隙	約 30 毫米