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技術文章

什么是超純水專用鈦換熱器?

閱讀:915          發布時間:2024-3-29

什么是超純水專用鈦換熱器?

由于材質為鈦,因此其熱交換效率比聚四氟乙烯高得多。
利用結構緊湊、需要少量冷卻水的優勢,安裝空間小也是控制局部設備生產線上水溫的一大優勢。
價格也比特氟龍低。
它可以用來替代傳統的聚四氟乙烯熱交換器。

超純水

  • 由于雜質和金屬離子的洗脫率極低(TOC 10ppb 水平),因此保持了與聚四氟乙烯換熱器相同的清潔度水平。
    (我們與多家半導體制造設備制造商擁有良好的合作記錄。)

臭氧水

  • 它也可以與臭氧水一起使用,沒有任何問題。

配備鈦釬焊板式換熱器

這是一款采用世界鈦釬焊超清潔制造方法的原創熱交換器,零件和粘合材料均采用專門的鈦釬焊技術。
我們成功地顯著減小了傳統聚四氟乙烯熱交換器的尺寸。
其緊湊的尺寸使其重量輕且易于放置,且不占用太多空間。

半導體制造商通過成分分析明確標準值

  • 超級清潔,TOC=10ppd。實現無污染!

  • 當非電阻 = 15MΩ 或更大時清零。

與鐵氟龍換熱器比較

  • 1、價格低廉

  • 2. 非常緊湊

  • 3.可減少冷卻水流量(使用量)(節能)

  • 4、可在接近冷卻水的水溫下提取超純水
    (最大△t在2℃以內)

鈦熱交換器 鐵氟龍換熱器


超純水高速跟蹤單程冷水機,直接即時提供精準控溫。
型號/型號TBS-MT05TBS-MT07TBS-MT11TBS-MT21TBS-LT21TBS-LT41
尺寸長x寬x高310×90×25310×90×33310×90×47310×90×82580×150×80580×150×156
回路數(高/低溫)5(2/3)7(3/4)11(5/6)21(10/11)21(10/11)41(20/21)
傳熱面積(m2)0.0850.1280.2130.4271.3882.776
設計壓力(MPa)2兆帕
設計溫度(℃)-196℃~+200℃
流量(升/分鐘)2~162~242~402~8010~20010~400
體重(公斤)1.351.652.263.811.421.5



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