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FIB雙束掃描電鏡的主要組成部分有哪些?

閱讀:1349      發(fā)布時(shí)間:2023-11-2
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  FIB雙束掃描電鏡是一種結(jié)合了聚焦離子束和掃描電子顯微鏡的高精度微納加工和分析設(shè)備。它的主要組成部分包括以下幾個(gè)部分:
 
  1、離子源:FIB系統(tǒng)是FIB雙束掃描電鏡的核心部分,用于產(chǎn)生離子束。離子源通常采用電子轟擊或液態(tài)金屬源等方法產(chǎn)生離子。
 
  2、離子透鏡系統(tǒng):離子透鏡系統(tǒng)由一組電磁透鏡組成,用于對(duì)離子束進(jìn)行聚焦和調(diào)節(jié)。通過(guò)離子透鏡系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的精細(xì)加工和成像。
 
  3、樣品室:樣品室是放置待加工和觀察樣品的空間。樣品室通常采用高真空環(huán)境,以減少氣體分子對(duì)離子束的影響。
 
  4、掃描器:掃描器負(fù)責(zé)控制離子束在樣品表面的掃描路徑。掃描器通常采用電磁偏轉(zhuǎn)器或壓電陶瓷等方式實(shí)現(xiàn)離子束的精確掃描。
 

FIB雙束掃描電鏡

 

  5、檢測(cè)器:檢測(cè)器用于收集從樣品表面反射、散射或產(chǎn)生的信號(hào)。常見(jiàn)的檢測(cè)器包括二次電子探測(cè)器、X射線能譜儀等。
 
  6、電子槍:電子槍用于產(chǎn)生一束高能量的電子束,作為SEM的光源。電子束經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡的聚焦和調(diào)節(jié)后,照射到樣品表面,產(chǎn)生二次電子等信號(hào)。
 
  7、信號(hào)處理系統(tǒng):信號(hào)處理系統(tǒng)負(fù)責(zé)對(duì)接收到的信號(hào)進(jìn)行處理和分析,以獲得樣品的形貌、成分和結(jié)構(gòu)等信息。
 
  8、控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個(gè)FIB雙束掃描電鏡的運(yùn)行和參數(shù)調(diào)節(jié)。用戶可以通過(guò)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)離子束的能量、電流、掃描速度等參數(shù)的調(diào)節(jié),以及對(duì)樣品的加工和觀察操作。
 
  9、真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)負(fù)責(zé)維持整個(gè)高真空環(huán)境。真空系統(tǒng)通常包括機(jī)械泵、渦輪分子泵、真空閥等部件。
 
  10、計(jì)算機(jī)系統(tǒng):計(jì)算機(jī)系統(tǒng)負(fù)責(zé)控制整個(gè)FIB雙束掃描電鏡的運(yùn)行,以及數(shù)據(jù)處理和圖像重建等功能。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)通常采用高性能的工業(yè)控制計(jì)算機(jī),并配備專門(mén)的軟件系統(tǒng)。
 

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