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掃描電鏡顯微鏡在不同行業中的應用

閱讀:1960      發布時間:2021-12-3
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  由于掃描電鏡顯微鏡的高分辨率和大焦深,使得它可以對各種化學物質進行非常詳細的分析。它打破了傳統臺式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性,利用創新的雙聚光鏡成像技術,采用大型掃描電鏡成像方式,使用二次電子探測器作為基礎成像單元,從而,可以獲得更高的分辨率,是真正意義上的高分辨率臺式掃描電鏡。
 
  在檢查半導體和微電子器件時,需要靈活選擇和使用操作參數(加速電壓、樣品傾斜、掃描線時間等)以及正確的分析程序,以獲得最大的信息。QFN器件中由濕熱環境(如吸濕)引起的界面裂紋很常見,會導致器件失效。掃描電鏡顯微鏡可以用來尋找任何裂縫。用戶可以看到這些裂縫位于界面的哪個連接處以及它們的擴展方向。由于裂紋與界面強度有關,因此裂紋信息可用于評估對QFN器件研究的實際意義。
 
  掃描電鏡顯微鏡通常在高真空狀態下工作。然而,在低真空中,可以觀察到未涂覆導電材料的樣品。在高真空下,充電效應不可避免。通過在低真空下對樣品成像,減少了充電效應,圖像更加清晰。最初,為了查看整個樣本,用戶必須分別拍攝圖像并手動合成。然而,利用掃描電鏡的全景拍攝,選定區域的多個圖像被自動捕獲和組合。它標準配置的兩軸馬達驅動樣品臺,全自動真空系統,全自動的電子光學調控系統,可以讓用戶從開始到結束都可以用手指在觸摸屏上進行操作。除了全自動功能以外,掃描電鏡還提供給更加的用戶所有手動調節功能,使得儀器幾乎具備大型機所有的調節功能,從而獲得更佳的圖像品質。
 

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