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技術文章

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設備工作原理及參數(shù)

閱讀:3660          發(fā)布時間:2022-6-14

企業(yè)介紹: 1998 年今天開始的地方。由于客戶對實施所提議的解決方案的興趣,一位自由設計師開始組建一家不僅能夠設計而且能夠實施整個機械的公司。自 2005 年以來,我們一直在自己的建筑中運營,我們已經(jīng)涵蓋了自動化所需的所有專業(yè),并且我們擁有自己的生產(chǎn)機器。2012年,我們購買并改造了原紡織廠的大樓,成為我們現(xiàn)在的總部和進一步發(fā)展的地方。

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設備應用:汽車
化學
電工學
半導體
工程
研究
保健和藥學


產(chǎn)品:硅錠鉆孔晶核設備 化學蝕刻線| 電線裝載自動化 于計謹和定向套 筒和艙|長度測量設備療產(chǎn)品生產(chǎn)設備| Epifuse自動組裝 DS 1000配電系統(tǒng)
加酸站
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壓測試儀蝕刻硅 板的化學線EBR化學品分配系統(tǒng) 自動邏輯球罩組件

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設備產(chǎn)品型號:
50950
50700
50120
50100

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設備產(chǎn)品描述:
該設備設計為用于蝕刻硅板的單用途自動箱。硅板的蝕刻和漂洗周期根據(jù)所選參數(shù)*自動化,操作人員只需執(zhí)行輸入材料的補充、產(chǎn)品的取出和工藝參數(shù)的選擇。該盒子專為兩個六英寸的籃子或一個八英寸的籃子而設計。使用的材料符合 FM 4910 標準。
工藝槽(后部)專為化學混合物而設計。化學品通過循環(huán)回路。泵從溢流邊緣吸入浴缸,并通過流動加熱器將其返回浴缸底部。
沖洗槽(前)充滿底部填料。為了更地沖洗 Si 板,將氮氣供應到浴槽底部,從而導致 DEMI 水循環(huán)。快速排放由一對所謂的快速排放 (QD) 提供,它們是盤式氣動閥。

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設備產(chǎn)品屬性
這個盒子是為兩個六英寸的籃子設計的或者一個八英寸的。所用材料符合FM 4910標準。工藝槽(后)設計用于化學混合物。化學物質通過通過電路。泵從溢流邊緣吸入錫槽,并將錫槽吸入通過流量加熱器返回槽底。沖洗槽(前)充滿下部填料。實現(xiàn)更的清洗硅板被送入槽底部的氮氣中導致除鹽水循環(huán)。快速啟動由該對提供所謂的快速傾卸閥(QD),為盤式氣動閥。
•該設備設計用于半導體生產(chǎn)的潔凈區(qū)域。
•該裝置的底座為箱形骨架,可實現(xiàn)支撐結構的功能保護環(huán)境免受骨架內部危險因素的影響。
•骨架由TAKIRON材料制成。
•在骨架的處理部分,有一個帶鉸鏈蓋的透明蓋(PVC玻璃)。
•工藝和沖洗槽安裝在骨架的工藝部分。
•其下方空間用于收集和排放沖洗水。
•如果排水管堵塞,應保護集水區(qū)
洪水浮子傳感器。
•PVDF材料制成的后蝕刻槽的填充體積:55升(槽體積)
+3升(循環(huán)回路的體積)
•液位測量
•帶隔膜泵和流量加熱器的循環(huán)回路
-槽溢流邊緣的抽吸
-通過穿孔底部在浴槽底部擠壓
-循環(huán)回路流量調節(jié)
-將除鹽水泵入循環(huán)回路
•流動加熱器加熱和循環(huán)
•獨立測量熔池溫度的熱電偶。它還用作
超限報警元件槽的高允許溫度。
•由PVDF材料制成的前沖洗槽的填充體積為45升
•使用一對快速排放閥快速排放
•低液位傳感器(浴缸排水)
•通過氮氣鼓泡(鉆孔底部)提高沖洗效率
帶氣泡強度控制
•在清洗槽更換期間,一對淋浴器浸泡硅片
•每個淋浴器允許獨立的流量控制
•搬運帶有硅板托盤的搬運籃的機械手
•帶計量的伺服電機(系統(tǒng)知道其位置)即使在斷電后)
•在盒子的背面有一個布線空間和化學空間
帶液壓元件。
基本技術數(shù)據(jù)
長度:880 mm
寬度:1290 mm
高度:2230 mm
重量:270 kg
電源:3 NPE 400/230V AC 50Hz TN-S


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