美國霍尼韋爾Honeywell氣流傳感器行業標準

含微結構技術，對空氣或其他氣體的流量、數量/方向提供敏感和快速回應。

所有氣體質量流量傳感器均通過熱交換運行——流動和壓差。硅芯片設計源自薄膜、隔熱橋結構，包含加熱和熱敏組件。這可以對空氣或氣體流量和方向作出快速響應，提供相應的輸出電壓。放大型能提供更強的輸出信號和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路。

美國霍尼韋爾Honeywell氣流傳感器工作原理

熱線式：傳感器中有一根通電發熱的鉑金熱絲，當氣流通過時會帶走熱絲的熱量使其冷卻。ECM（發動機控制模塊）會控制電流保持熱線溫度恒定，此時電流與進氣量成正比，通過檢測通電電流就能測量進氣量。在實際應用中，熱線通常被納入惠斯通電橋電路，利用其特性檢測電位差從而測量進氣量。

熱膜式：與熱線式類似，不過是將加熱元件換成了熱膜。熱膜是在陶瓷基片上制成的金屬薄膜，具有響應速度快、測量精度高的特點。當氣流流經熱膜時，熱膜溫度發生變化，導致其電阻值改變，通過測量電阻的變化來確定氣流的速度或流量。

霍尼韋爾提供：

芯片設計、制造工藝和微結構技術

加快響應時間并實現更低的功耗

多種端口類型，提供更高的應用靈活性

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為滿量程流量范圍及溫度補償范圍內讀取氣流數據提供一個數字界面。隔熱加熱器和溫度感應元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質量流量。

10 SLPM 至 300 SLPM

標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經校準的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內進行補償。基于 ASIC 的補償能實現數字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應時間。

±50 SCCM 至 ±750 SCCM

標準流量范圍可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。還提供自定義流量范圍。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。

HAF HAF 系列可以對0°C 至50 °C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍做出補償，并且可以在 -20C 至70°C [-4°F 至 158°F] 的溫度范圍中工作。基于 ASIC 的補償能實現數字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應時間。

這些傳感器根據熱傳遞原理測量氣流的質量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統 (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設計的氣流通道內，提供對于流量的可重復響應。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性、高準確度、可重復測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應用要求。堅固外殼和穩定基底相結合使得這些產品極其堅固耐用。它們的設計與制造符合 ISO 9001 標準。