什么是微焦點X射線機？

所謂的微焦點X射線機是焦點尺寸可以達到幾個微米，并且能夠在0～225kV或更高恒電壓模式下，以一定的功率（通常高到為320W）連續工作的X射線機。 微焦點X射線機的焦點尺寸通常可以連續可調，從幾微米直到0.2毫米或更高。

什么是微焦點X射線機？微焦點X射線機與常規X射線管相同，微焦點X射線管的陽極也是用循環油或水來冷卻。 與常規X射線機不同的是，用于無損檢測的微焦點X射線管是用真空泵來維持X射線管內的真空度（約為10-7）。 微焦點X射線管可以很方便的打開（即開放式或稱為開管），用來更換不同的靶材以產生不同的X射線頻譜；更換不同形狀及大小的X射線窗口；以及更換陽極的類型，如換上各種直徑和長度的棒陽極，以滿足不同檢測任務的需要。 這些陽極棒的長度可達1500毫米，直徑可從18毫米一直小到4毫米。使用如此小的棒陽極，我們可以用單壁內透照方式，的缺陷檢測靈敏度進行射線檢測。

FineTec 225KV-泛泰克微焦點射線機225KV

FineTec 160KV-泛泰克微焦點射線機160KV

FineTec 300KV-泛泰克微焦點射線機300KV

泛泰克FineTec 100KV-開管一體式100kV微焦點射線機

德國泛泰克微焦點射線機是比較受歡迎的微焦點X射線機，目前廣泛應用于航空航天、半導體電子等行業等要求比較高等行業及應用！

在微焦點射線機等應用過程中，需要考慮的是X射線束視場直徑或稱錐束角。 進行微焦點X射線檢測，當焦距很近時，錐束角或視場范圍非常重要。例如，25°錐角的微焦點X射線機的曝光次數要小于15°錐角的微焦點X射線機在檢測相同范圍時的曝光次數。

另一個需要考慮的是焦點到X射線管窗口外表面的距離，它決定了被檢樣品到焦點的小距離。 這一參數的重要性在于它決定了一個微焦點系統可能達到的大放大倍數。 由于防護設施空間的局限以及射線的衰減與距離的平方成反比（I/R2 ），我們無法隨意拉長膠片或探測器到射線源的距離以增大放大倍數。

在進行微焦點X射線檢測時有一個與常規X射線檢測很大的不同：我們通常不需要考慮圖像半影的大小，即通常不考慮幾何不清晰度的影響。原因是當焦點尺寸足夠小時，半影可以忽略不計。 因此我們可以在X射線視場可接受的情況下，盡可能減小被檢樣品到焦點的距離。

微焦點X射線機的主要技術參數有那些？

- 管電壓范圍：微焦點X射線管的高壓工作范圍。
- 大管電流：從陰極到陽極的大電流。
- 大功率：微焦點X射線管的大功率。
- 電子束聚焦能力（焦點）：在給定功率下的焦點尺寸，如：3µm@5W；0.2mm@320W。焦點一般連續可調。
- 細節分辨能力：通常*的小的細節分辨能力為焦點尺寸的一半。
- 錐束角：在給定窗口直徑下的X射線放射角。如：孔徑2mm時，25°。
- 錐束角中的射線均勻度：射線視場強度的均勻性，以百分比表示。
- X射線劑量率穩定性：X射線劑量隨時間的變化性，以 百分比/小時 表示。
- 小焦距：通常用焦點到X射線管窗口外表面的距離來表示。
- 靶材料：通常有鎢，鉬，銅以及其它材料。
- 小高壓穩定時間：系統在大電壓和大功率模式下，從開機到穩定運行所需的時間。
- 其它參數：重量，尺寸，電源，及溫度濕度要求等。