ICP-MS電感耦合等離子體質譜儀
1、進樣系統-霧化器、霧化室和蠕動泵
(1) 由于霧化器中心的毛細管直徑很小，要求樣品應溶解，無沉積物或漂浮物。如果有少量沉淀物，用濾膜過濾，否則霧化器很容易堵塞。
(2) 使用普通進樣系統時，不應含有HF或氟化物，否則容易損壞矩管和霧化器。如果需要分析此類樣品。需要更換耐HF進樣系統。
(3) 霧化室一般沒有問題，它基本上是一個免維護的部件。
(4) 蠕動泵主要是由于泵管受到擠壓和磨損，容易消耗，因此在運行后應松開泵管夾，以延長泵管的使用壽命。
2、接口–雙錐
(1) 對于采樣錐和攔截錐的清潔頭，使用棉簽蘸超純水輕輕擦拭錐的正面和背面，然后在干燥前用超純水沖洗。清潔時注意控制力度，不要損壞錐形孔。
(2) 清潔后，檢查錐形孔的形狀和尺寸，觀察圓形錐形孔是否變形和光滑，并注意錐形孔的尺寸。如果采樣錐的直徑超過1mm，而攔截錐的直徑超出0.4mm，則需要更換相應的錐。
3、離子源–矩管
(1) 在ICP-MS中，矩形管容易沉積碳和鹽。如果發生堵塞，可將堵塞部分浸入濃硝酸中煮沸。
(2) 如果矩管的氣體連接管周圍的區域變成黃褐色，主要是由于有機物沉淀(氣體管道中的增塑劑在高溫下損失)，這對儀器的性能沒有影響。可以將矩管放入馬弗爐中，在500℃下烘烤數小時，以去除這些棕色沉淀物。
4、冷卻水系統
(1) 定期更換冷卻水，大約每半年更換一次，同時添加抑菌劑。
(2) 每年檢查一次水接頭，防止漏水，必要時更換。
(3) 定期清潔水循環的散熱器，三年左右時檢查冷卻能力。
5、氣路系統的維護
(1) 定期檢查外氣路和內氣路，看是否有漏氣。
(2) 注意養成良好的用氣習慣。
(3) 開機前，確認氣瓶壓力是否在正常范圍內，一般為0.6-0.8MPa。操作后應及時關閉增壓閥，以避免泄壓。
6、機械泵
應每月檢查機械泵油，以確保泵油液面在刻度線和小刻度線之間，泵油顏色正常且干凈。如果泵油變臟，需要及時更換，以確保儀器始終保持良好的真空狀態。
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