離子分子質譜儀工作耐壓值高，脈動小、穩定可靠。進樣器與整機分體式模式，具有良好的抗干擾性和可拓展性。接頭、流路均使用進口Peek材料，耐強酸強堿。連續自動再生電化學抑制器，抑制容量高。高分辨率觸摸屏配有WinCE操作系統，以及全中/英文顯示的數據處理系統。
離子分子質譜儀的主要用途：
1.摻雜劑與雜質的深度剖析。
2.薄膜的成份及雜質測定。
3.超薄薄膜、淺植入的超高深度辨析率剖析。
4.硅材料整體分析，包含B,C,O,以及N。
5.工藝工具(離子植入)的高精度分析。
6.可以用于材料表面和表層的化學成份分析?；瘜W元素或化合物在表面和塊體材料內部的分布。以及生物組織表面和內部成份和分布分析。包括如半導體，生物，冶金，汽車等領域。
離子分子質譜儀送樣時注意事項：
1、待測試的樣品表面不能被沾污；
2、易潮解，易與空氣發生反應的樣品，在送樣過程中應注意隔離空氣；
3、用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋，以免硅樹脂或纖維污染樣品表面；
4、如為揮發性高分子樣品或具揮發性覆膜，務必先自行在真空加熱爐中抽除揮發性分子；如果樣品置入真空腔后，隔夜無法抽至5X10E-7torr以下，測試將被取消；
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