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KLA-Tencor Puma 9000 晶圓檢測儀

是一款先進的晶圓檢測和計量設備，廣泛應用于半導體制造業。該系統利用KLA-Tencor創新的Streak™暗視野成像技術，成功克服了傳統掃描激光與光電倍增管（PMT）式檢測系統的限制，從而達到業界領xian的效能。

Puma 9000具備高分辨率成像、高速處理和自動化功能，能夠提供精確的測量和用戶友好的界面設計。它結合了光學掃描和高速成像技術，并采用固態線性傳感器，以確保穩定且可重復的測量結果。此外，該系統還支持多種像素尺寸（如sL10, sL15, sL20, sL40和sL60），并配備Nd:Yag 355nm脈沖入射激光器，使其在缺陷檢測方面具有極gao的靈敏度。

Puma 9000不僅適用于質量控制和先進材料結構的精密測量，還能顯著提高生產效率和良率。其模塊化和可擴展的設計使其能夠適應不同的生產需求，并通過長期可靠性保證了系統的穩定運行。

值得注意的是，盡管Puma 9000已經非常成功，但其后續版本Puma 91xx系列在生產能力、靈敏度和易用性方面都有所改進，幾乎實現了兩倍的生產能力和更高的靈敏度。因此，許多現有的Puma 9000系統可以現場升級到91xx系列的性能水平。

總之，KLA-Tencor Puma 9000是一款功能強大且高效的晶圓檢測和計量設備，適用于各種半導體制造過程中的質量控制和材料分析需求。