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2025/05/15
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等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備，是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體，采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù)，使其有效容積增大，不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配，且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi)，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較，從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作，特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。
設(shè)備型號(hào) | KT-Z2DQX | KT-S2DQX | KT-Z5DQX |
控制方式 | 7寸觸摸屏人機(jī)界面 | 7寸觸摸屏人機(jī)界面 | 7寸觸摸屏人機(jī)界面 |
供電電源 | AC220V（AC110V可選) | ||
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) | ||
射頻電源功率 | 1000W | 150W | 300W |
匹配方式 | 自動(dòng)匹配 | 手動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 |
清洗頻率 | 40KHz | 13.56MHz | |
耦合方式 | 電容耦合 | ||
工作真空 | ≤50Pa | ||
腔體材質(zhì) | 高純石英 | ||
腔體容積 | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) | 5L(內(nèi)徑160MMX深度310MM) |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ50 | Φ50 | Φ70 |
氣體流量 | 0-300ml/min（熱式質(zhì)量流量傳感器X2個(gè)） | ||
真空計(jì)量程 | 1E5Pa至1E-1Pa（皮拉尼真空計(jì)） | ||
過程控制 | 手動(dòng)/自動(dòng)切換 | 手動(dòng)/自動(dòng)切換 | 手動(dòng)/自動(dòng)切換 |
清洗時(shí)間 | 自動(dòng)開關(guān) | ||
開蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開式法蘭 | ||
外形尺寸 | 150*500*250mm | 450*460*370mm | 530*580*420mm |
重量 | 20kg | 35kg | 40kg |
真空室溫度 | 小于65°C | ||
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | ||
標(biāo)配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個(gè)，不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè)，電源線一根，說明書一本。 | ||
