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半導體加工行業應用案例分享

閱讀:961        發布時間:2022-3-3

縱觀半導體設備的發展歷史,不難發現半導體設備緊隨芯片制造中心而不斷東移:從70-80年代的美國,到80-90年代的日本,再到90年代后期的中國臺灣與韓國。


隨著中國制造技術的不斷發展,與本身龐大的市場需求相互幫襯,未來十年,中國有望成為半導體芯片制造的中心。


目前,在國家重大科技專項的支持下,集成電路主要工藝設備如PVD、PECVD、CMP、介質刻蝕機、CMP等技術均有顯著提升。而IC晶圓生產線的設備國產化率也在不斷提高。設備技術的提升也拉高了對光學傳感器性能的需求。除了對精度、穩定性等性能要達到*的標準外,傳感器也被要求實現更多的檢測任務。


作為有著超過75年歷史的工業傳感器生產廠商,SICK具有深厚的技術積累,豐富的產品種類,可以為半導體設備廠商提供更多樣的產品、更優異的性能以及更專業的服務。

1、硅板厚度測量


產品系列:OD5000位移測量傳感器 訂貨號:6063621

客戶應用:太陽能硅片分選機,客戶需求在皮帶輸送線上檢測硅片的厚度,精度要求為2um


采用2*OD5000-C30T05上下組合方式,來測量硅片的厚度


客戶利用上位機接受數據做算法處理,判定硅片的規格


客戶受益:


雙頭側厚,通過以太網接口和集成在傳感器內部評價單元,無需額外控制器計算


高達80kHZ測量頻率,準確測量微小變化


激光定位更加柔性,可視覺,產品定位精度更高


實時在線測量,相對于線激光方案,節省成本,精度更高


2、石英載具到位檢測


產品系列:WTF12G 訂貨號:1065719

客戶應用:石英載具裝載硅片進行熱處理、涂層等一系列工藝流程。


需要對半透明石英載具進行穩定到位檢測,由于熱處理中溫度較高,無法安裝反射板,只能選擇漫反射。


檢測距離較遠,無法使用V鏡頭光電傳感器。


客戶受益:


WTF12G是漫反射前景抑制型原理,無需反射板,只需對背景進行示教即可


可以穩定地檢測透明、半透明等物體


檢測距離可達700mm

 

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