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氦氣熱式氣體質量流量計是利用熱傳導原理測流量的儀表。熱式氣體質量流量計采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。熱式質量流量計由傳感器和信號分析、處理與控制單元兩部分構成。傳感器一部分測量溫度，而另一部分用于加熱。前者監控實際過程溫度值；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質量流量越大，冷卻效應就越大

氦氣熱式氣體質量流量計是利用熱傳導原理測流量的儀表。熱式氣體質量流量計采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。熱式質量流量計由傳感器和信號分析、處理與控制單元兩部分構成。傳感器一部分測量溫度，而另一部分用于加熱。前者監控實際過程溫度值；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質量流量越大，冷卻效應就越大，維持差分溫度所需的能量也就越大。因此，通過測量加熱器的能量便可得出被測氣體的質量流量。

UHMF型氦氣熱式氣體質量流量計的工作原理是流量計的傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質溫度 T1；另一個傳感器自加熱到高于介質溫度 T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1，T2>T1，當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將 T2的熱量帶走，使 T2 的溫度下降，若要使ΔT 保持不變，就要提高 T2 的供電電流，氣體流動速度熱快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數關系，這就是恒溫差原理。

其中

Pg— 流體比重（和密度相關）

V — 流速

K — 平衡系數

Q — 加熱量（和比熱及結構相關）

ΔT — 溫度差

由于傳感器溫度比介質（環境）溫度總是自動恒定高出 30℃左右，所以熱式氣體流量

計從原理上不需要溫度補償。 熱式氣體質量流量計適用介質溫度范圍為-40-220℃。

（1） 式中流體比重和密度相關

其中

Pg— 工況體積下的介質密度（kg/m3）

ρn — 標準條件下介質密度（101.325 Kpa、20℃） （kg/m3）

P — 工況壓力 （kPa）

T — 工況溫度（℃）

從（1）（2）式可以看出，流速和工況壓力，氣體密度，工況溫度函數關系已確定。

恒溫差熱式氣體質量流量計不但不受溫度影響，而且不受壓力的影響，熱式氣體質量流

量計是真正的直接式質量流量計，用戶不必對壓力和溫度進行修正。

熱式氣體質量流量計技術特點：

1.熱式氣體質量流量計無壓力損失或者說壓損非常小，無阻流元件，不存在測量引起的壓力損失，并且帶分流管熱分布式TMF及侵入式TMF雖然有阻流件，但壓力損失也不大。

2.可以測量極低流速或是微小流量現場，可以測量低壓氣體流量甚至是真空狀的分子流量。

3.熱式氣體質量流量計的儀表系數是隨氣體種類或是混合氣體組分而變，不能測量質量熱容（比熱容）變化的流體。因氣體種類或組分改變，其定壓比熱容Jp和熱傳導系數隨之而變，影響測量值。更不能用于混相流體或可能產生相變流體。

4.高可靠性，無活動部件。

5.熱分布式TMF用于CO、N2、02等接近理想氣體的雙原子氣體，可直接用空氣校驗。

6.測量氣體流量時，常以標準狀態下的體積流量單位表示，介質溫度／壓力變化幾乎不影響所測量值。若標準狀態下密度恒定(即組分不變)，則類似于質量流量。

UHMF型熱式氣體質量流量計的技術參數

UHMF系列熱式氣體質量流量計的應用實例

1.石油化工行業

應用場合：火炬氣排放監控

產品優點：寬量程比，傳感器不易堵塞，可在線插拔清洗，適用氣體廣泛

2.電力行業

應用場合：鍋爐一次風、二次風、磨煤風的風量測量

產品優點：安裝簡便，無直管段要求，低壓力損失，無需溫壓補償，可在苛刻的條件下使用（如：空氣中含有粉塵、顆粒、磨損嚴重、低壓力等）

3.冶金行業

應用場合：高爐煤氣、焦爐煤氣測量

產品優點：按實際介質組份標定，可對組份變化進行修正，可在線清洗傳感器，插入長度可任意調整

4.電子行業

應用場合：高純度氣體質量流量測量

產品優點：無需溫壓補償直接測量質量流量，傳感頭經過高度拋光，可用于貿易結算

5.供暖通風和空調系統（HVAC）

產品優點：產品反應靈敏、運行可靠，對安裝直管段無嚴格要求

6.水處理行業

應用場合：測量曝氣池的空氣流量

產品優點：耐臟、耐塵，真正無壓降，現場安裝簡便

7.食品行業

應用場合：向反應器中通入適量氣體，控制過程及質量